技术编号:8564482
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。音圈电机模组近年来已经得到普及,特别是用于制造电子元件和半导体的设备。众所周知,采用音圈电机模组的优势是高加速度,高速度,高精度,减少移动质量,没有复杂传输系统的简化设计,同时移动部件与传输机制也没有任何磨损和裂缝,具有较好的可靠性。一般圆柱形音圈电机模组包含了直线导轨,位置反馈装置和圆柱形音圈电机。针对于精度不高的两点运动的要求,成本控制就会特别重要。现有设计是在圆形音圈电机中间开孔,并加以套筒和金属轴,这种结构在直线运动时,没有限制旋转方向上的运动。现...
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