技术编号:8564574
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。石英谐振器离子刻蚀是提将石英晶片镀金膜或银膜后,搭载入基座后的,装入托盘并传入真空腔内进行离子刻蚀。在刻蚀前测量系统对来料进行频率测试并计算出需要刻蚀的时间,在刻蚀后进行再次测量以检测调整频率后产品是事满足要求。离子刻蚀的过程是在真空中通过钨丝放电使Ar气体电离成等离子体,接着对Ar离子进行加速使其成为高能量的离子束,最后通过栅极将高能离子束引出,使其射向镀膜后的石英晶片,产生碰撞使镀膜表面产生溅射,达到减薄金膜或银膜而达到频率调整的目的。石英谐振器在手机...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。