技术编号:8567839
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于多晶硅生产,具体涉及一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统。背景技术传统的多晶硅生产工艺主要包括三氯氢硅合成工艺、三氯氢硅氢还原工艺、四氯化硅氢还原工艺,上述工艺所产生的尾气均输送至尾气回收冷凝系统进行分离回收利用,达到节能降耗的目的。上述尾气主要包括气相氢气、氯化氢、氯硅烷和固体硅粉尘,所述氯硅烷包括二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅,其中硅粉尘来源于三氯氢硅合成工艺带来的未反应的硅粉颗粒及三氯氢硅氢还原工艺中产生的粉尘硅粉。上述硅粉的产生原理如下...
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