技术编号:8574599
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。真空镀膜机用于在真空中对工件镀膜,真空镀膜机包含构成于工件的加工腔体的真空室,真空室内设置有转架装置,该转架装置可以通过驱动装置驱动转动,从而实现工件的转动。现有的PVD真空镀膜真空室结构为原型或者多边形。底部结构为平底。转架一般直接安装在真空室平底上,进行转动。需要加工的工件安置在转架上,被转架带动进行自转和公转。因为转架结构是安装在真空室平底上,转架本身的传动结构较复杂,所以它需要一定的高度来安装这些传动结构。由于被加工的工件是放置在转架上的,所以工件...
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