“s”形薄膜的铂电阻热流传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:8579204

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随着航天飞行器的发展,高超声速飞行器飞行过程中的气动热问题日益突出。基于薄膜铂电阻热流传感器的测量技术作为激波风洞中气动热环境测量的一种重要方法,近几年得到不断发展。一方面,为了单位面积得到更多数据,集成化成为传感器技术发展的趋势。另一方面,为了满足不同马赫数、不同测量区域的测量要求,要求传感器的灵敏度高,而由于传感器尺寸小,薄膜铂电阻的阻值较小,因此导致传感器在低热流区域测量出现误差较大,需要对传感器的电阻元件的阻值增大,提高传感器的输出量。目前的薄膜铂...
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