技术编号:8581842
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。薄膜晶体管是一种场效应晶体管,其根据导电方式可分为耗尽型和增强型。为了采用同一种薄膜晶体管形成复合器件,需要一种阈值电压可调的薄膜晶体管。通过调节薄膜晶体管的阈值电压,使得薄膜晶体管能够在耗尽型和增强型之间切换,从而扩展薄膜晶体管的应用范围。图1是现有技术中的一种双栅薄膜晶体管的剖视图。如图1所示,双栅薄膜晶体管10从下至上依次包括底栅电极11、衬底12、底栅绝缘层13、沟道层14,位于沟道层14上的顶栅绝缘层15、漏极16和源极18,以及位于顶栅绝缘层1...
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