技术编号：8606558
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。平行光光刻机是采用平行光曝光法来实现印刷电路板(PCB)成像的设备，其曝光精度(工作台与底片对位精度)决定PCB产品的线宽和线距精度，因而决定电子产品的电路集成度和大小。光刻机主要由精密工作台系统、光学系统、环控系统、机架系统、输送系统等组成。影响平行光光刻机对位精度的主要因素是精密工作台的驱动机构及周围环境温度和输送系统的导轨摩擦力的干扰。由于光刻机的平行光系统采用大功率光源，在曝光过程中产生大量的热量，这将引起精密工作台系统和导轨热变形，严重影响光刻机...
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