技术编号:8612819
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有技术中,对于涂布质量精度要求非常高的场合,例如涂布厚度0.5um,涂布精度±1%,此时对平板间的平行度要求在0.002um,非常高。而利用垫片调节涂布宽度引入的垫片厚度误差,以及涂布头压紧垫片时引起的变形都会严重影响涂布质量。因此,现有技术存在缺陷,需要改进。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可以调节涂布宽度,涂布精度高、涂布误差小,并且,涂布质量高的狭缝涂布头的涂布宽度调节结构。本实用新型的技术方案如下一种狭缝涂布头的涂布宽度调节结构...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。