技术编号：8613661
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及激光刻蚀，尤其涉及双振镜多幅面切换激光刻蚀机。背景技术用于刻蚀显示触摸屏ITO薄膜、玻璃基底或PET基底的银浆激光刻蚀设备的运动驱动机构多采用二维振镜头和F- Θ透镜组组合，这种激光刻蚀设备刻蚀速度快，效率高，但是，由于刻蚀产品对线宽有一定的要求，使得二维振镜头和F- Θ透镜组组合的刻蚀幅面受到限制。一般情况下，F-Θ透镜组所刻蚀的幅面大，其刻蚀的线宽就宽，同时，F-Θ透镜组的焦距就大。如果加大刻蚀幅面，其刻蚀的线宽也会变宽，往往不能满足客户...
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