技术编号:8617688
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有技术中,在有色金属加工设备领域,特别是针对多晶硅生长炉领域,多晶硅生长炉,主要由炉体和炉盖构成,炉体直径为五米,炉盖用52条M36螺钉锁紧在炉体上。使用现有的多晶硅生长炉,由于使用螺钉和螺母紧固炉盖,所以每次开炉、关炉均须松紧螺母,耗时大约I小时,所以工人劳动强度大,同时耗时长,大大影响了生产率。并且现有技术中的多晶硅生长炉,由于炉体和炉盖之间的密封性能不好,再加上炉内为高压、高温氢气,工作不可靠,炉体内的工作介质容易泄露到外界环境中,进而引发氢气外漏...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。