一种薄膜型气敏元件的制作方法技术资料下载

技术编号:8622483

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从气敏元件诞生之日起,由于其具有体积小、能耗低、灵敏度高、响应时间短等特点,在易燃、易爆、有毒、有害气体的检测和检测中的应用越来越广泛,对于减少气体爆炸、火灾等事故的发生起到非常大的作用。由最初的半导体气敏元件到后来的复合材料元件,气敏元件性能已经得到了很大的提高,然而由于传感的气敏机理非常复杂,到目前为止还没有形成一个统一的系统,在气敏元件性能研宄方面,还需要系统化的试验与理论研宄,另外在气敏元件的应用方面,积极加入到应用领域,再有就是加大对其他有害气体...
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