技术编号：8624781
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型总体涉及真空泵，更具体地说，涉及离子泵元件。背景技术离子泵(也称为溅射离子泵)是一种公知的真空捕获泵，其能够达到理想条件下低至1-1lmbar的压力。离子泵是这样一种装置，其在(离子泵所连接的)容器内离子化气体并且采用强电势，通常为3kV至7kV，这允许气体离子加速进入固体电极和其残留物且由其捕获。公知的离子泵的基本元件是彭宁讲(Penning trap)。通过使用均勻的静磁场和空间上不均匀的静电场，彭宁阱是用于存储带电粒子的装置。彭宁阱使用强均...
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