技术编号：8645753
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。激光加工的基本原理就是将激光聚焦在材料表面，使激光与材料的相互作用，激光光束的高斯分布以及激光与物体相互作用的机制，激光与材料作用后在物体上形成正锥形的沟槽。现有技术中，使用高斯光束加工，要实现零锥度或倒锥沟槽加工，激光光束要倾斜入射到样品表面。有两种基本的办法一种是倾斜样品，另外一种是倾斜激光光束。倾斜样品会给加工带来很大的不方便。因此倾斜激光光束的方发被广泛采用。目前有两种操纵方法来实现激光光束的倾斜方法1使用全反射镜，通过转动反射镜，改变激光和反射镜...
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