带状复合节流静压气浮导轨的制作方法技术资料下载

技术编号:8649939

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目前,工程中使用的静压气浮导轨,仅仅利用外节流静压气浮或表面节流来承受载荷并提供刚度,在实际应用当中常常遇到承载能力低、刚度小、抗干扰能力差的问题。这些种类的静压气体导轨没有充分利用复合节流效应,从而不能提供大的承载能力和刚度,并且抗干扰能力差、运动精度难于提高;专利(US6164827A)提出了具有表面微沟槽的气浮结构,这种结构只有在小气膜厚度下才起作用,对提高气浮块综合性能没有显著作用;专利(JP特开2009-209962A)提出了一种节流器出口改进的...
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