技术编号：8651301
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本实用新型涉及信号处理技术，更具体地，涉及相移电路以及MEMS陀螺仪驱动电 路。背景技术 微机电系统（Microelectromechanical Systems，简称MEMS)的应用领域越来越 广泛。在这些应用中，MEMS陀螺仪是一种重要的角速度传感器。 MEMS陀螺仪通常包括质量块以及沿着相互垂直的第一和第二方向分别设置在质 量块上的驱动梳齿电极和驱动检测梳齿电极。驱动梳齿电极沿着第一方向对质量块施加静 电力，使得质量块沿着第一方向谐振。在系统的运动...
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