技术编号：8652951
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。点测机是一种用于集成电路、LED晶圆、二极管晶圆等半导体电性测试设备。点测机测试电性是半导体制造工艺当中的一个不可或缺的工序，近年来，随着光电，半导体产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大，在晶圆大批量生产中，往往在一片晶圆同时制作成百上千个芯片，通过点测机进行晶圆切割前的电性测试。随着技术的发展，晶圆的尺寸也越来越大，同时一片晶圆内所集成的芯片也越来越多，这就需要更多的测试时间来完成一片晶圆的测试。传统的测试方式是使用I台点测机+测试仪...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。