技术编号：8667444
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。电视、电脑显示器(computer monitor)以及其他平板显示器(Flat PanelDisplays, FPD)典型地在大面积基板的处理腔室中被制造。为了最大化基板的有效使用，这些大面积的处理腔室被设计来处理矩形基板。由于大部分FPD的形状为矩形，被设计来处理圆形基板(例如半导体晶圆)的处理腔室可能不是所想要的，这是因为所述圆形基板为了形成矩形FPD的最终形状而必须被移除的浪费掉的基板的量。随着大面积处理腔室的尺寸持续增加，用一个单一的部件(pie...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。