技术编号：86693
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种平面显示器用基板输送装置，尤其涉及一种在制造平面显示器用基板的过程中，能够适用于显影装置的、且通过最小的基板显影装置安装空间来获得最大的空间利用率的平面显示器用基板输送装置。 背景技术通常，在平面显示装置的制造工序中，在玻璃基板上形成电路图形的过程，可包括清洗基板的工序、在已清洗的基板表面涂敷感光性树脂而形成感光膜的工序、通过预定图案曝光所述感光膜而进行显影(developing)的工序。 这种显示器的制造工序中，显影工序利用现有的显影液供给装置来对基板涂敷显影液。这种显影工序，可采用向盛有...
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