具有紫外臭氧清洗功能的手套箱的制作方法技术资料下载

技术编号:8673848

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手套箱广泛应用于锂电、核能、医学以及化学化工等各种行业。目前所使用的手套箱为了方便连接手套箱的内部和外部,通常会设置过渡仓,现有的过渡仓的功能多是用来传递材料、工具等的,有些还具有烘箱或真空烘箱的功能,而在实际的一些科研或生产过程中涉及到一些需要干法清洗的工艺过程,例如有机发光二极管(OLED)、有机光伏器件(OPV)等就需要使用到这些干法清洗的工艺过程。而目前的清洗都是在手套箱外部进行的,但是如果在表面处理完再通过手套箱过渡舱传递进手套箱进行试验,可能涉...
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