技术编号：8678983
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。旋转靶材在加工过程中因上时间处于高温加工中，而靶材本身遇到高温会出现裂痕，而未解决上述问题在喷涂靶材的背管内通入冷却液，进而实现靶材的冷却，从而确保靶材的质量。但现有针对旋转靶材的冷却结构为芯轴，而现有芯轴的结构中端盖扣设在背管两端并采用密封圈密封，而这种端盖的密封结构其占据背管两端端头较大空间，进而无法达到背管两端短狗冷却的效果，进而靶材局部高温而断裂，从而无法达到有效冷却的目的。由此，本发明人考虑对现有的旋转靶材芯轴结构进行改进，本案由此产生。实用新型...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。