技术编号：8680708
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。7 N电子级超高纯度(UHP)氨气主要应用于半导体LED晶体制造、液晶显示、有机电激光显示(OLED)等领域。超高纯氨气用于金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)外延生长过程中，它与金属有机物的前驱物三甲基镓(Ga(CH3)3)在高温高压下发生化学反应，Ga(CH3) 3 (g) +NH3 (g) — GaN(S) +3CH4 (g)，只有氨气的纯度达到6.5N以上时，才可以生成光率达到301m/W的高亮蓝光LED以及高亮白光LED。所以对金属离子的管控...
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