金属氧化物半导体气体传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:8680912

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随着工业的快速发展,环境的污染问题也越来越严重,例如,汽车尾气中的CO、NOx, SOx等有害气体,室内装修中存在的甲醛、甲苯等,煤矿中泄漏的甲烷气体,化工生产中产生的易燃、易爆、毒害性气体等,这些有毒气体对人们的身体健康造成了严重的威胁。为了确保人身安全和防患于未然,人们研制了各种检测方法和检测仪器,其中,气体传感器在家居生活、排放监测、航空、医疗、卫生等领域发挥着重大的作用。目前气体传感器种类繁多,应用范围广泛,大致可分为半导体式、电化学式、接触燃烧式...
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