技术编号:86813
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及薄膜晶体管及其制造方法,更具体地涉及一种。 背景技术薄膜晶体管通常用作显示设备的开关器件。该薄膜晶体管可由例如硅和有机材料的各种材料形成。有机薄膜晶体管由有机半导体材料形成,并且该有机薄膜晶体管使用柔性基板取代玻璃基板。除了有机薄膜晶体管使用有机半导体材料和柔性基板之外,该有机薄膜晶体管在结构上与硅薄膜晶体管类似。 图1是例示现有技术的有机薄膜晶体管的横截面图。如图1所示,现有技术的有机薄膜晶体管包括形成在下基板51上的金属材料的栅极52a;形成在下基板51包括栅极52a上的栅绝缘层53;与栅极...
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