技术编号:8689457
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有的二自由度纳米级微动台分为一体式和分体式两种,一体式微动平台工作在一个平面内完成两个方向的位移输出,一体微动台需要二个方向的解耦运算,控制复杂,输出精度低,两个方向的位移输出相互有影响,特别在输出位移极小的情况下比较严重;另一种为分体式结构,两个方向输出独立,由中间板连接,控制简单,输出精度高,但体积大,安装驱动元件复杂;放大结构二自由度纳米级微动台外形体积大,承载能力小、位移方向刚度相对较低,工作台位移垂直方向存在偏转角度,在输出大位移和承载较重负载...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。