技术编号:8692067
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料,目前国际上多晶硅的生产技术主要还是使用改良西门子法,而多晶硅还原炉是改良西门子法生产多晶硅工艺中的核心设备。改良西门子法生产多晶硅是一个间歇式生产的过程即每个还原炉炉运行90~110h就需要停炉一次,取出多晶硅棒(硅棒的出炉过程),再次进行硅芯的夹持过程,从而进入下一个生产周期。在以上环节中,多晶硅棒在每一轮的出装过程中都涉及到还原炉的吊装,所以还原炉的吊装平衡在多晶硅生产中显得尤为重要。在多晶硅的还原过程中...
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