技术编号：8695010
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，随着微电子技术，宇航，生物工程等学科的迅速发展，正式进入了 “亚微米-纳米”时代。在电子，光学，机械制造等众多中，迫切需要高精度，高分辨率，高可靠性的微定位系统，用于实现高精度的研究，微定位技术在微机电系统、纳米制造技术、微电子及纳米电子技术、纳米生物工程等众多高科技领域将发挥越来越重要的作用。用以直接工作或配合其他仪器设备完成高精度的研究和使用。随着科学技术的不断发展,对微定位的界定也从以前的mm级到现在的亚um—nm级进化，以后的发展方向将是亚...
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