技术编号：8698603
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，太阳能电池片生产技术不断进步，生产成本不断降低，转换效率不断提高，使得光伏发电的应用日益普及并迅猛发展，逐渐成为电力供应的重要来源。太阳能电池片的生产工艺主要包括制绒、扩散、刻蚀、镀膜、印刷和烧结等。其中，刻蚀工序的作用去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的。目前，RENA设备是一种常用的湿法刻蚀设备。这种设备基本结构为刻蚀槽-水喷淋槽-碱槽-水喷淋槽-去PSG槽-水喷淋槽-吹干。该设备在使用过程中表现出许多优异的性能。然而，目前...
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