技术编号：8711539
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。超精密驱动机构在高精尖仪器设备是不可缺少的重要组成部分。精密驱动机构目前主要采用的进给驱动方式有滚珠丝杠、静压丝杠、直线电机、摩擦驱动等，它们的机械结构特性直接影响进给驱动系统的精度输出特性及驱动动力学特性。滑动丝杠主要的问题在于存在爬行现象，有反向运动间隙，周期误差、节距误差难以修正等缺点；滚珠丝杠主要的问题在于运动中有复杂的弹性变形和微小振动，存在爬行现象，有反向运动间隙，周期误差、节距误差难以修正，衰减性不好等缺点；静压丝杠存在结构刚度小，易产生振动...
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