技术编号：8712869
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型专利属于光杠杆生化传感检测，具体涉及一种利用低温等离子体对高分子微悬臂梁进行改性修饰的方法。可以实现利用不同层度修饰的高分子微悬臂梁对不同目标溶液进行监控和检测。背景技术微梁是MEMS中最简单、常用的微型传感器件之一，在作为探测元件时，具有响应速度快、检测灵敏度高等优点，已被广泛应用于质量检测、力检测、加速度检测、气压检测、红外成像检测、和生物化学检测等领域。几十年来，微梁传感技术有了长足进步，尤其是在生物、化学和材料等领域内(Carrascos...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。