一种实现宽带增强衍射的微结构的制作方法技术资料下载

技术编号:8714482

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我们知道,光通过透射光栅时将产生衍射效应。通常,很大一部分衍射光的能量会 分布在无色散的0级光谱中。在用于光谱分析和研宄的色散光学元件中,宽带、增强且具有 色散的衍射光谱显得十分重要。在薄膜太阳能电池的设计中,微结构产生的增强衍射有利 于抑制反射光,同时增强光与薄膜波导模的耦合。以往,利用截面为锯齿形的闪耀光栅或具 有深度矩形沟槽的介质光栅,人们在一定的情况下已经实现增强的高阶衍射。但是,这些光 学元件往往具有表面粗糙不平或厚度较大的缺点,不利于器件加工...
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