一种透射式硅纳米阵列光分束器的制造方法技术资料下载

技术编号:8714483

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本实用新型涉及一种透射式硅纳米阵列光分束器,属于微纳光学领域。背景技术 光分束器(beam splitter)是一种常见的光无源器件,可用于将入射的激光分为 等强度、或者特定强度分配比例的MXN束(M,N分别为光分束器出射光束的横向和纵向 的光束数,M,N均为整数,可均匀排布,也可任意排布),广泛应用于光纤通信、激光加工、 激光美容、手势识别传感、全息投影等领域。光分束器可用微光学技术中的衍射光学元件 (Diffractive Optical Eleme...
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