用于测试相变存储器的半导体结构的制作方法技术资料下载

技术编号:8715838

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随着技术的发展,半导体存储器,如闪存(FLASH)、静态随机存储器(SRAM)及动态随机存储器(DRAM)等,正逐步面临其在更先进工艺技术节点下“技术瓶颈”问题。发展新型存储技术,以克服当前半导体存储技术面临的限制,适应高容量、低功耗以及快速存取等应用需求具有重要的研发价值。近年来,以相变材料为存储介质的相变存储器(phase-change memory, PCM)正受到高度关注。与半导体存储器相比,PCM属于电阻型存储器,具有一些明显的优势,如制造成本低...
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