技术编号：8727947
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，微流动系统及相关的微型机械制造技术已经成为了一个非常活跃的研宄领域。在化学分析与检测、生物工程、集成电路芯片、微型零部件以及微型化生产系统等领域迫切需要小型化、可以精确定量输送流体的微泵。微泵是微流动系统的关键部件，根据驱动机理的不同微泵可分为压电驱动、静电驱动、电磁驱动、热驱动和形状记忆合金驱动等。不同驱动方式的微型泵都有其自身特点和应用领域，压电泵由于具有结构紧凑，响应特性好，便于精确控制等特点，在医疗/制药、生物工程、化学分析、电子器件冷却以...
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