技术编号：8731036
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在现有技术中，液体颗粒计数器一般用于检测液体中的微小固体颗粒污染物，它 在医药，水质分析、油液清洁度检测和半导体工艺控制等领域有着重要的应用。传统的光学 液体颗粒计数器都是基于光散射的原理。当一束光照射到液体中的微小颗粒物时，发生光 散射，散射光强的大小和颗粒物的粒径存在对应关系。这种基于散射光强的检测方法，可以 测出液体中颗粒物的大小，但是不能区分液体中颗粒物的特性。这使得传统的液体颗粒计 数器会将液体中存在的小气泡也统计为颗粒污染物，使得测量结果发生...
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