技术编号：8731537
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。传统的光刻版对准标记设计是单一的位置，无法进行更改，但在实际应用中，由于机台的具体情况不同，设计的出发点不同，同一套光刻版的对准标记点可能不同，不同机器的光刻机的框架上的标记的形状和位置也可能不同，使光刻版的使用兼容性受到限制，生产时会经常因为光刻版的标记点无法与光刻机框架上的对准标记点匹配而无法使用光刻版，这时就需要重新制作同一套光刻版使新的光刻版的对准点与光刻机框架上的对准点相匹配，重新制作光刻版不浪费时间、人力和物力，管理繁琐，同时由于对准标记小对准...
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