技术编号：8732707
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。集成电路(IC，integrated circuit)元件为许多电子产品重要的组成元件之一，如电脑、手机及数字手表等，又集成电路元件为一种高精密技术的产业，故其品质的优劣亦与后续的应用息息相关。晶圆为制造集成电路兀件的材料之一，而决定晶体电路兀件的品质除了集成电路布局与设计外，晶圆的良率亦是关键的因素。现有晶圆的工艺中，有许多转换与运送的过程，例如将晶圆涂布之后所进行的烘烤工艺。如中国台湾新型公告专利第M394568号的「多工式晶圆烘烤加工系统」，其揭露一...
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