技术编号：8744458
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在多晶硅生产的冷氢化工艺中，三氯氢硅合成工序的汽提塔会排出大量含氯硅烷的浆料，其主要由四氯化硅、三氯氢硅和二氯二氢硅、硅粉、少量金属氯化物等组成，是一种固液混合物，具有强腐蚀、易挥发、易着火等特点。目前，多晶硅行业常用湿法水解处理含氯硅烷的浆料。由于氯硅烷与碱性溶液反应较激烈，并伴有大量热量放出，在处理过程中常常会有着火现象发生。再加上硅粉与碱性溶液接触，在氯硅烷水解放热的作用下，硅粉会与碱性溶液反应，生出大量的氢气，存在较大的安全隐患，同时还会产生大量的...
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