一种射频加热系统上极板电压的测量装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8753607

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射频加热的不均匀性是其大面积商业推广的最大障碍,通过计算机模拟技术可以更好的帮助我们理解复杂的射频加热机理、优化射频加热工艺参数,从而提高物料加热后温度分布的均匀性。在模拟分析的过程中,上极板电压值是一个极其重要的参数,但是射频加热系统使用的射频波属于高压高频电磁波,目前尚无有效的方法或设备对上极板电压进行测量。上极板电压的确定通常是通过逐步调节预设上极板电压值使实验的温度分布与计算机模拟的温度分布达到一致,此时该预设上极板电压值即为计算机模拟的上极板电压...
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