一种单芯片具有校准线圈/重置线圈的高强度磁场x轴线性磁电阻传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:8753733

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本实用新型涉及磁性传感器领域,特别涉及一种单芯片具有校准线圈/重置线圈的高强度磁场X轴线性磁电阻传感器。背景技术娃磁传感器主要包括Hall磁传感器、AMR磁传感器、GMR磁传感器。Hall磁传感器通过在衬底上沉积半导体薄膜如碲化铟,通过外磁场对于载流子的路径的偏转来获得不同的阻值,其优点在于,Hall磁电阻传感器所能测量的磁场范围较宽,其缺点在于,磁场灵敏度较低,通常需要引入通量集中器来对外磁场进行放大。AMR磁传感器在衬底上沉积单层磁性薄膜,通过外磁场改...
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