技术编号：8754006
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着半导体制造技术的不断发展，光罩的成本费用越来也高，通常光罩的表面设有一层光罩护膜，黏贴光罩护膜为光罩制造的最后阶段，光罩护膜为用来提供阻隔外界污染的隔膜，防止微粒子或挥发性气体污染光罩表面。如图1所示，通常情况下，光罩护膜02由支撑结构支撑于光罩01表面的上方。而在光罩01与光罩护膜02之间的光罩表面存在有光掩模图形。一般需要对光罩护膜02上裸露的上表面进行清洁，清洁方式为利用传统的手工持氮气枪03将其表面的颗粒物吹干净，在某些情况下由于操作不当，枪头...
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