技术编号:8761185
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在半导体制造业中,有各种各样的检测设备,其中EM是用于检测组成器件的薄膜的形貌、尺寸及特性的一个重要工具。常用的EM包括TEM(Transmiss1n ElectronMicroscope 透射电子显微镜)和 STEM (Scanning Transmiss1n Electron Microscope 扫描透射电子显微镜)。TEM的工作原理是将需检测的样片以切割、研磨、离子减薄等方式减薄,然后放入TEM观测室,以高压加速的电子束照射样片,将样片形貌放大、投...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。