柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8765567

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目前柔性透明导电薄膜沉积技术已经在触摸屏行业广泛推广,柔性透明导电膜通过卷绕镀膜设备镀制,柔性透明导电薄膜基材都是PET (Polyethylene terephthalate,聚对苯二甲酸乙二醇酯)等柔性材料。但由于其不耐高温、不易于沉积具有优良电学性能的透明导电薄膜,且对氧气、水气的阻隔性差,从而使得沉积的导电薄膜电阻率偏高。因此PET基材在沉积之前要去除水气才能降低导电薄膜的电阻率。传统去除水气的方法大概有两种1、通过热辐射的方法在真空室内加红外加热...
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