技术编号：8781264
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅生产工艺流程中最主要的步骤包括合成三氯氢硅、四氢化硅的热氢化、精馏、还原和尾气回收。目前业界较为流行的是西门子改良法，这种方法所用的设置主要有氯化氢合成炉、三氯氢硅沸腾床加压合成炉、三氯氢硅水解凝胶处理系统、三氯氢硅精馏、精馏塔提纯系统、硅芯炉、节电还原炉、磷检炉、硅棒切断机、腐蚀、清洗、干燥及包装系统、还原尾气干法回收装置等。在多晶硅生产过程中，为了满足高纯度的要求，必须进行精馏。多晶硅精馏罐一般设置一个远传液位计和一个就地液位计，通过液位计显示罐...
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