技术编号：8785005
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微电子芯片产品的高质量、高精度以及高成品率使得其需要具有高洁净度的生产环境。芯片的制造工艺要求在恒温恒湿洁净的环境中进行。这种恒温恒湿且有高洁净度的环境为洁净室或洁净厂房。所谓恒温恒湿是指温度和相对湿度在一个很小范围内变化。而洁净室提供这种恒温恒湿的条件是由洁净室内所配置的空调系统来完成的，即洁净室用新风机组(Make up air unit，MUA)系统。传统的洁净室新风机组(MAU)系统机箱中的设计如图1所示，系统中从进风端口至出风端口依次设置有进风风...
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