技术编号：8805992
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。掩膜板是一种由表面金属薄膜记载图形、文字等信息的玻璃载板。在掩膜板的制作过程中会用到光刻机，光刻机是一种能把电脑上已设计出的各种图形、文字等信息转移到掩模版上的生产设备。光刻机上设有曝光镜头，曝光镜头是光刻机上在生产过程中，对应设置在掩模版上方用于发出激光束或电子束或其它能量束的部件。曝光是光刻机根据各种图形、文字数据通过曝光镜头向掩模版发射激光束或电子束或其它能量束从而实现信息转移的过程。在掩膜板的制作过程中，光刻机的可曝光范围，即在掩模版生产过程中光刻...
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