技术编号:8819975
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅还原炉是多晶硅生产中产出最终产品的核心设备,也是决定系统产能、能耗的关键环节。小型多晶硅还原炉(如12对棒、18对棒还原炉等)生产单位重量产品普遍能耗较高,单炉产量相对低,已经越来越不适应目前的市场要求.随着多晶硅设备水平的不断发展和提高,大型还原炉得到不断开发,出现了 36对棒、48对棒甚至60对棒还原炉。相关技术中的大型多晶硅还原炉,虽然解决了一些产量和能耗的问题,但伴随着设备的大型化和复杂化,其底盘中的冷却液流动阻力增大,导致冷却效果较差,且由...
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