技术编号：8823745
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。西门子法生产多晶硅是经过精馏提纯的高纯度三氯氢硅通过高纯度氢气还原而制得的多晶硅，这种方法在制造多晶硅的过程中会产生大量的废气排出，废气中主要成分为氯硅烷(三氯氢硅，四氯化硅，二氯二氢硅)、氢气、氯化氢、氮气及微量杂质等，由于氯硅烷会对环境造成一定的影响，所以多晶硅生产中需要对废气进行取样分析，为了快速取得废气样品，因此有必要提出这一改进。实用新型内容本实用新型解决的技术问题提供一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置，液氮罐中的液氮通过冷阱将废气中...
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