技术编号:8828433
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在太阳能电池片的加工过程中,扩散炉是对硅基片进行高温掺杂的设备,是对太阳能电池片的转换效率起着决定性作用的设备之一。为了得到高效的太阳能电池片,要求扩散时炉管内气流稳定,气场分布均匀。现有的频率扩散技术解决了原有的扩散方式单片内方阻不均匀的不足,但由于采用的是单孔抽风,扩散炉管内的气流不均匀,从而导致扩散过程不够均匀,影响了扩散工艺质量,扩散后的硅片间方块电阻不均匀。为了解决这一问题,授权公告号为CN202167467U的中国实用新型专利《一种用于太阳能电...
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