技术编号：8840977
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS (微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，其中的振膜、背极板是MEMS麦克风中的重要部件，振膜、背极板构成了集成在硅晶片上的电容器，实现声电的转换。近年来，随着科学技术的发展，手机、笔记本电脑等电子产品的体积在不断减小，而且人们对这些便携电子产品的性能要求也越来越高，这就要求与之配套的电子零部件的体积也必须随着减小。现有的麦克风封装结构，为了防止异物从声孔进入至声腔结构中，通常会在声口的位置增加一防尘结构，例如在电路板的外侧，或者在电...
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