技术编号:8841561
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。发光二极管(Light Emitting D1des,简称LED)是一种固态半导体二极管发光器件,被广泛用于指示灯、显示屏等照明领域。目前,LED外延晶圆(或称外延片)一般是通过金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-organic Chemical Vapor Deposit1n,简称M0CVD)获得,其制程一般为将外延晶圆衬底(如蓝宝石衬底)放入石墨承载盘(Wafer carrier)的凹槽上,连同石墨承载盘一起被传入MOCVD反应室内,衬底连同石墨承...
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